Industry

Zedex、微細プロセス向けパーティクル検査装置「M802ESC」を発売

Zedexは、半導体製造で使うESCやスパッタリングターゲット、FOUP向けのパーティクル検査装置「M802ESC」を発売した。直径610mm以内、最大50kgの試料に対応し、標準で0.1μm以上の粒子を検出できる。

AI & Enterprise

Douzone BizonとFuriosaAI、NPU活用AIソリューションで提携

Douzone Bizonは2月19日、FuriosaAIとNPU活用AIソリューションの商用化に向けて業務提携した。第2世代NPU「Renegade（RNGD）」上で「ONE AI」を検証し、性能と電力効率を第三者評価を通じて確認する。