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日本政府、Rapidusに6315億円追加支援　2nm量産前倒しを後押し

日本政府は、Rapidusに2026年度の研究開発費として6315億円を追加支援する。試作評価や歩留まり改善に充て、2027年度下半期としてきた2nm量産の前倒しを後押しする。累計支援額は2兆3540億円となる。

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Applied Materials、2nm未満のGAA向け成膜装置2製品を発表

Applied Materialsは、2nm未満のGAAトランジスタ向け成膜装置2製品を発表した。PECVDでSTI構造を保護して寄生容量を抑え、ALDでメタルゲートを原子レベルで制御する。