の検索結果 化学気相成長
Industry
Applied Materials、HBM・チップレット向け新装置6機種 先端パッケージングとDRAM工程を強化
Applied Materialsは6月29日、HBMやチップレット向けの先端パッケージングとDRAM工程に対応する新装置6機種を発表した。CMPやECD、PECVD、電子ビーム計測、エピ装置をそろえ、3D積層の歩留まり向上を狙う。
Industry
Applied Materials、ASMPTのNEXX事業を買収 先端パッケージング強化へ
Applied Materialsは5月7日、ASMPTのNEXX事業を買収する最終契約を締結した。パネルレベルの電気化学めっき技術を取り込み、AI向け先端パッケージングの製造体制を強化する。
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中国研究チーム、ウエハー級の2次元半導体の成長速度を1000倍に
中国の研究チームが、液体金を用いた基板構造で化学気相成長（CVD）法を改良し、ウエハー級の2次元半導体の成長速度を従来比約1000倍に高めた。量産化に向けた前進といえる一方、コストと量産性はなお課題として残る。