SK hynixは3月24日、次世代半導体工程の量産対応に向け、ASML KoreaとEUV(極端紫外線)スキャナーの購入契約を結ぶと発表した。契約総額は約12兆ウォンに上る。
契約額は69億1340万ユーロ。ウォン換算では11兆9496億7363万ウォンで、2024年12月31日時点の連結総資産119兆8552億868万ウォンの9.97%に相当する。換算には、取締役会決議前日(23日)時点のハナ銀行売買基準レート(1ユーロ=1728.48ウォン)を適用した。
取得予定日は2027年12月31日で、装置は今後2年にわたって順次導入する。契約額にはEUVスキャナー本体のほか、設置や改造を含む関連設備一式が含まれる。支払いは個別装置の取得に応じて分割で行う。
導入の目的について同社は、次世代工程の量産対応のためとしている。EUV装置はArF露光装置より波長が短く、より微細な回路パターンを形成できるため、先端DRAMおよびNANDの工程転換で中核を担う設備とされる。SK hynixは、次世代工程への移行スケジュールに合わせた装置確保の一環だと説明した。
ASMLはEUV装置を独占供給するオランダの半導体製造装置メーカー。韓国ではASML Koreaを通じて営業・サービスを展開している。SK hynixは、実際の取得額は為替動向によって変動する可能性があるとしている。
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