ISTEは1月2日、SK hynix向けにHBM用FOUP洗浄装置を23億ウォン（約2億4900万円）で受注したと発表した。納入期限は2026年4月7日としている。
同社は2025年11月にも、SK hynixから28億3000万ウォン（約3億500万円）規模のFOUP洗浄装置を受注した。受注時点では、HBM競争力の強化に向けた新規投資の初回案件と説明しており、今後のHBM関連装置の追加受注も見込んでいた。
同じ11月には、Amkor Technology Koreaから15億7000万ウォン（約1億7000万円）規模のFOUP複合装置も受注した。Samsung Electronicsからも同装置を受注しており、2026年3月から4月にかけて納入する予定だ。
ISTEは2013年、本体とカバーを分離して洗浄できる装置を開発した。2016年のSK hynix向けFOUP洗浄装置の納入を起点に、自動化装置やバルブ補修、装置部品へと取引領域を広げてきた。2023年にはSK hynixの技術革新企業にも選定された。
チョ・チャンヒョン代表は「SK hynixはHBM分野で前工程から後工程まで投資を継続している。当社のFOUP洗浄装置は、HBM生産ラインの運用を支える設備として供給している」とコメントした。
その上で「当社はSK hynixとSiCN工程向けPECVD装置の国産化に成功し、当該装置の販売も完了した。これにより、前工程装置を新たな製品群に加えた」と説明。「主要顧客を軸にリピート受注の構造を強化し、成長基盤を築いていく」と述べた。
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Daegeon Seok
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