半導体製造装置メーカーのISTは2月9日、SK hynixからHBM向けFOUPクリーナーを追加受注したと発表した。納入期限は7月21日。ISTは1月にもSK hynixから同装置を受注している。
FOUPクリーナーは、半導体製造工程でウエハーの搬送・保管に使うFOUP内部の汚染源を除去する装置。HBMを中心とする高付加価値メモリーの製造では、搬送・保管時の清浄度管理と工程信頼性の確保が重要になっており、関連装置への需要も高まっている。
ISTは今回の受注について、HBM関連の前工程・後工程需要に加え、新規投資需要も取り込んだ案件だとしている。同社はFOUPクリーナーを軸に、FOUP検査の複合装置やPECVDなど、半導体工程装置のラインアップ拡充を進めている。
今後は、高付加価値メモリー工程や次世代半導体の生産環境に対応した装置供給を継続的に拡大する方針。IST関係者は「HBMとDDR5 DRAMの増産に伴い、FOUPクリーナーの需要は今後も続く」とコメントした。
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