EcoPro HNは27日、Samsung E&Aと中央式温室効果ガス低減システム（RCS）の供給契約を締結したと発表した。契約額は330億ウォン。設備は韓国内の半導体企業に納入される。
RCSは、半導体製造工程で発生する過フッ化化合物（PFC）を処理する大容量の低減システム。PFCは二酸化炭素に比べて地球温暖化係数が数千〜数万倍に上り、半導体製造現場では主要な規制対象物質となっている。
EcoPro HNは触媒技術を用い、約750〜800℃でPFCを分解する。従来の熱分解方式では1300〜1400℃が必要だったのに対し、エネルギー使用量を約95％削減できるとしている。
同社は、韓国の半導体企業によるグローバル生産拠点への投資拡大を背景に、北米を含む海外の半導体企業へ顧客基盤を広げる方針だ。
EcoPro HNの関係者は「今回の受注は、当社独自の温室効果ガス低減技術と設備の信頼性を改めて示すものだ」とコメントした。そのうえで、「差別化した技術を基盤に、韓国内にとどまらずグローバル半導体市場で顧客基盤の拡大を進める」と述べた。
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Dae-geon Seok
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