の検索結果 DUV露光装置
Industry
米政府、中国にASML製EUV装置の可能性を指摘 ASMLは否定
米国政府がASML製EUV露光装置の中国流入の可能性に言及した。ASMLは中国内の存在を否定し、全出荷機を追跡管理していると説明。米側は現時点で決定的な証拠を示していない。
Industry
中国PRINANO、ASML製DUV露光装置使わずフォトニックチップ向け8インチウエハー生産
中国の半導体装置メーカーPRINANOは、ASML製DUV露光装置を使わずにフォトニックチップ向け8インチウエハーの生産に成功したと発表した。ナノインプリント技術により、コストを従来比約10分の1に抑えられるとしている。
Industry
米議会、中国向け半導体装置規制を法制化へ ASMLの浸漬型DUVも対象
米議会は、中国の主要半導体企業向け装置の販売に加え、保守や技術支援も制限する「MATCH Act」を提出した。ASMLの浸漬型DUVも規制対象に加え、同盟国にも150日以内の規制強化を求める。