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Industry
Applied Materials、2nm未満のGAA向け成膜装置2製品を発表
Applied Materialsは、2nm未満のGAAトランジスタ向け成膜装置2製品を発表した。PECVDでSTI構造を保護して寄生容量を抑え、ALDでメタルゲートを原子レベルで制御する。
Industry
Chipmetrics、3D NAND向け高アスペクト比計測で韓国市場を開拓
フィンランドの半導体計測スタートアップChipmetricsが韓国市場での展開を本格化した。3D NANDの高積層化を追い風に、高アスペクト比構造内の薄膜を高速評価する技術でSamsung ElectronicsとSK hynixの量産ライン採用を目指す。
Industry
Applied Materials、2nm以下のGAA向け新装置 ナノシート処理など3装置
Applied Materialsは12日、ソウルで2nm以下のGAAトランジスタ向け材料工学技術を発表した。ナノシート表面処理、3Dトレンチ形成、モリブデン成膜に対応する3装置を披露し、AI時代の電力効率改善を訴えた。