ZEISSは7月10日、韓国・京畿道龍仁市に半導体事業部初のグローバル拠点「ZEISS Semiconductor Innovation Center」を開設したと発表した。現地顧客の量産導入や先端パッケージ分野での技術適用を後押しする。

同センターは、Surplus Globalの半導体装置クラスター内に設置した。フォトマスクソリューションと高精度計測・検査ソリューションを備え、韓国の顧客に対する技術支援の拠点として運用する。

ZEISSは韓国を世界の半導体市場における中核地域と位置付け、協業を拡大してきた。延べ床面積350平方メートルの同センターでは、顧客の量産環境に合わせたソリューション開発、プロセス最適化、導入前の検証を迅速に支援する。

これにより、研究開発段階から実運用までの時間短縮につなげる考えだ。あわせて、同社のグローバルネットワーク強化にもつなげるとしている。

センターには、半導体向けソリューション3種を導入した。3次元X線計測・検査ソリューション「ZEISS NLX-100」は、パッケージ構造を高解像度で診断し、先端パッケージ工程での活用を見込む。

ウエハー形状を補正する「ZEISS DUNE 100」は、化学物質を使わずにウエハーの歪みを補正する。フォトマスクの欠陥修理に対応する「ZEISS MeRiT AE」は、既存装置の次世代ソリューションとして修理能力を高めた。

今後は、研究開発で整備したフォトマスク関連とファブ向けの主要ソリューションを同センターに追加配備する方針だ。装置開発の初期段階から韓国の顧客との技術協力を強化していくとしている。

ZEISS半導体事業部代表兼CEOのフランク・ロムント博士は「韓国にZEISS初のグローバル半導体センターを開設できたことをうれしく思う」とコメントした。韓国は世界の半導体産業の重要拠点であり、今回の開設を通じて現地顧客に信頼される長期的なパートナーを目指す考えを示した。

ZEISS半導体ファブソリューション部門長のカロリーネ・ピグドン博士は「ZSKICは、韓国の顧客が求める最先端技術と、迅速かつ実用的な支援を身近な場所で提供する役割を担う」と述べた。