Justemは2月4日、半導体製造工程向けの新たな湿度制御ソリューション「JDS（Justem Dry System）」を「SEMICON Korea 2026」で披露すると発表した。会期は11日から3日間で、会場はソウル市のCOEX。JDSのほか、既存製品のJFSや次世代ソリューションのJPBも展示する。
JDSは、同社の第2世代湿度制御ソリューション「JFS（Jet Flow Straightener）」と、第3世代ソリューション「JDM（Jet Dry Module）」の機能を組み合わせた製品。FOUP内の湿度を1％以内、EFEM内部を5〜10％以内に維持できるとしている。温度も個別に制御し、汚染を未然に防ぐことで歩留まりの改善につなげる考えだ。開発は最終段階にあり、2026年下期の発売を目指す。
展示会では、第2世代ソリューションのJFSも主力製品として紹介する。JFSは約3年の研究開発を経て開発した気流制御ソリューションで、Samsung Electronicsなどグローバル半導体企業に1700システムを供給したという。
このほか、次世代の湿度制御ソリューション「JPB（Jet Purge Buffer）」も公開する。JPBは、工程後のウエハーからヒュームを除去する装置で、湿度5％以下を維持しながらアクティブパージ効果を実現するとしている。
キム・ヨンジン社長は「JDSとJFSは、歩留まり向上に欠かせない選択肢になりつつある」とした上で、「半導体市場がスーパーサイクル局面に入る中、Justemの湿度制御ソリューションをグローバル標準に育てていきたい」と述べた。
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Daegeon Seok
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