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俄罗斯初创公司推出多阴极电子束光刻方案：单片晶圆曝光有望缩至5至7分钟

俄罗斯一支开发团队公布多阴极电子束光刻方案，试图通过并行布置多个电子束发射源提升曝光效率。按其说法，单片晶圆曝光时间有望缩短至约5至7分钟，而传统单束电子束方案完成同等作业可能需要1至2周。不过，现阶段完成验证的仅是核心电子束源，距离整机集成、稳定控制及量产应用仍面临多重挑战。

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韩国提速“超大型项目” 年内拟启动353万亿韩元投资

韩国政府正加快推进“超大型项目”计划，明确年内将启动或进入扩产实施阶段的投资总额为353万亿韩元，其中忠清圈246万亿韩元、岭南圈107万亿韩元。Lee Jae-myung要求同步推进审批程序、持续优化监管环境，并就光州军机场搬迁以及电力、供水等基础设施配套作出部署。