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Applied Materials发布两款新设备,应对AI芯片3D制造均匀性挑战
面向AI芯片带动下不断升级的3D半导体制造需求,Applied Materials发布Centris Spectral SiN原子层沉积系统和Producer Selectra钼刻蚀系统,重点解决高深宽比结构中的沉积与刻蚀均匀性问题,以降低器件性能与良率风险。
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Applied Materials推出两款面向2nm及以下GAA制程的沉积系统
Applied Materials于4月14日发布两款针对2nm及以下GAA晶体管制程的沉积系统,分别用于保护浅沟槽隔离结构,以及实现对金属栅堆叠的原子级均匀控制。公司表示,GAA三维结构的成形涉及500多道工序,且多项步骤的工艺容差已接近原子级,新系统旨在提升芯片每瓦性能等表现。
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Chipmetrics发力韩国市场,瞄准千层级3D NAND薄膜检测难题
芬兰半导体检测初创公司Chipmetrics借助Semicon Korea 2026进入韩国市场,重点瞄准3D NAND从300层以上向1000层演进的过程中,高纵横比深孔结构内的薄膜检测需求。公司表示,其侧向高纵横比测试结构可将单次分析时间压缩至约3分钟,并支持日处理数百个样本,目标是进入Samsung Electronics和SK hynix的量产供应链。