搜索关键词 Class 1洁净环境 Industry ZEDx推出纳米级工艺颗粒检测设备M802ESC 半导体颗粒控制企业ZEDx推出新一代检测系统M802ESC，用于静电吸盘、溅射靶材、FOUP等关键部件的颗粒检测。该设备面向纳米级超微工艺，最高适配610mm样品并支持50kg载荷；基础配置下可检测0.1μm以上颗粒，选配10nm传感器后可进一步计数10nm级颗粒数量。设备同时采用非接触式提取方式，并通过Class 1洁净环境降低二次污染风险。
Industry ZEDx推出纳米级工艺颗粒检测设备M802ESC 半导体颗粒控制企业ZEDx推出新一代检测系统M802ESC，用于静电吸盘、溅射靶材、FOUP等关键部件的颗粒检测。该设备面向纳米级超微工艺，最高适配610mm样品并支持50kg载荷；基础配置下可检测0.1μm以上颗粒，选配10nm传感器后可进一步计数10nm级颗粒数量。设备同时采用非接触式提取方式，并通过Class 1洁净环境降低二次污染风险。
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