半导体颗粒控制企业ZEDx于19日宣布，推出新一代检测系统M802ESC，可用于静电吸盘（ESC）、溅射靶材和FOUP等半导体工艺关键部件的颗粒检测。
据介绍，M802ESC是现有产品M2000ESC的下一代型号，面向纳米级超微工艺开发。公司表示，该设备可对以往难以进行精密颗粒检测的部件开展评估。
对于因尺寸大、重量高以及表面精度要求较高而难以通过传统方式进行定量评估的部件，M802ESC可提供检测支持。设备最高适配直径610mm的样品，最大载荷为50kg。基础配置下可检测0.1μm以上颗粒，选配10nm传感器后，还可对10nm级颗粒进行计数。
M802ESC采用基于X、Y、Z轴机器人控制的扫描喷嘴设计，可对样品表面约90%的区域进行均匀检测。同时，设备配备非接触式颗粒提取系统，可在不污染样品的情况下分离并回收颗粒；结合专利回收头和颗粒扩散抑制结构，进一步降低检测过程中的二次污染风险。
此外，设备通过ULPA滤芯维持Class 1洁净环境。ZEDx表示，这有助于提升检测数据的可靠性。
ZEDx相关人士表示，随着过去难以进行定量检测的部件也能够实现数据化评估，半导体工艺良率管理方式有望随之改变。
记者信息
Daegeon Seok
d2dg@d-today.co.kr