EcoPro HN总部外景。图片来源：EcoPro

EcoPro HN于27日表示，公司已与Samsung E&A签订集中式温室气体减排系统（RCS）供货合同，合同金额约330亿韩元，相关设备将用于韩国半导体企业。

RCS是一种大容量减排系统，主要用于处理半导体工艺中产生的全氟化合物（PFCs）。据EcoPro HN介绍，PFCs的全球变暖潜势远高于二氧化碳，通常可达后者的数千倍至数万倍，因此一直是半导体制造环节的重点监管对象。

公司表示，其催化技术可在约750至800摄氏度条件下分解PFCs。与需要在1300至1400摄氏度下运行的传统热分解方案相比，能耗可降低约95%。

EcoPro HN表示，随着韩国半导体企业加大全球生产基地投资，公司将进一步推动客户结构多元化，并把北美等海外半导体企业纳入客户群。

EcoPro HN相关人士表示，此次中标再次验证了公司在温室气体减排领域的技术实力和设备可靠性。未来，公司将继续以差异化技术为基础，拓展韩国及全球半导体市场客户。

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