Chính phủ Mỹ đang đặt nghi vấn máy quang khắc cực tím siêu sâu EUV của ASML có thể đã được đưa vào Trung Quốc. Tuy nhiên, ASML phủ nhận hoàn toàn và khẳng định chưa từng có bất kỳ máy EUV nào hiện diện tại thị trường này.

Theo TechCrunch ngày 19/6 giờ địa phương, ASML đã ra tuyên bố nhấn mạnh rằng “máy EUV chưa từng có mặt tại Trung Quốc”, qua đó bác bỏ nghi vấn từ phía Mỹ.

Vấn đề này được chú ý sau khi có thông tin Bộ trưởng Thương mại Mỹ Howard Lutnick đã nêu mối lo ngại trong cuộc gặp với lãnh đạo ASML. Phía Mỹ cho biết đã phát hiện dấu hiệu cho thấy một số linh kiện liên quan đến EUV cùng thiết bị của ASML được đưa vào Trung Quốc, nhưng chưa công bố bằng chứng cho thấy một hệ thống EUV hoàn chỉnh đang có mặt tại nước này. Bộ Thương mại Mỹ cũng không trả lời cụ thể khi được hỏi liệu Trung Quốc có sở hữu máy EUV hay không.

Tranh cãi trở nên nhạy cảm vì tầm quan trọng chiến lược của EUV đối với ngành bán dẫn. Đây là công cụ then chốt để sản xuất chip tiên tiến từ tiến trình 3 nm trở xuống, trong khi ASML hiện là doanh nghiệp duy nhất trên thế giới có thể chế tạo máy quang khắc EUV. Không chỉ các dòng chip tiên tiến do TSMC sản xuất, những bộ xử lý AI và chip di động mới nhất của Nvidia và Apple cũng phụ thuộc vào công nghệ này.

Nếu máy EUV thực sự đã vào Trung Quốc, hệ thống kiểm soát xuất khẩu chất bán dẫn mà Mỹ xây dựng suốt nhiều năm nhằm kiềm chế Bắc Kinh sẽ bị đặt dấu hỏi lớn. Kể từ nhiệm kỳ đầu của Tổng thống Donald Trump, Mỹ đã phối hợp với Hà Lan để gần như chặn hoàn toàn việc ASML xuất khẩu máy EUV sang Trung Quốc.

CEO ASML Christophe Fouquet phản ứng mạnh trước nghi vấn này. Ông cho biết công ty theo dõi toàn bộ máy EUV đã xuất xưởng; các thiết bị hoặc đang vận hành tại cơ sở khách hàng, hoặc đã được đưa trở lại ASML. Công ty cũng siết quyền tiếp cận đối với công nghệ cốt lõi, tài liệu kỹ thuật và tài liệu đào tạo liên quan đến EUV, đồng thời thiết lập cơ chế tách biệt để nhân viên tại Trung Quốc không thể tiếp cận các thông tin này.

Về mặt kỹ thuật, ASML cho rằng Trung Quốc khó có thể nhanh chóng sở hữu hoặc sao chép công nghệ EUV. Theo ông Fouquet, công nghệ này được hoàn thiện dựa trên năng lực tích lũy suốt nhiều thập kỷ, riêng việc phát triển nguồn sáng EUV đã mất khoảng 20 năm. Ông cũng cho rằng khi chưa từng tiếp cận máy thực tế, việc sao chép ngược công nghệ sẽ càng khó khăn hơn.

Ở góc độ kinh doanh, giới phân tích nhận định động lực để mạo hiểm đưa lậu máy EUV vào Trung Quốc là không cao. ASML hiện vẫn bán cho Trung Quốc các dòng máy quang khắc DUV đời cũ, và cho biết đây là hoạt động vẫn được phép trong khuôn khổ duy trì khoảng cách công nghệ theo các biện pháp kiểm soát hiện hành.

ASML dự báo khoảng 20% doanh thu năm 2026 của hãng sẽ đến từ thị trường Trung Quốc. Nếu vi phạm các quy định hạn chế xuất khẩu EUV, công ty không chỉ đối mặt nguy cơ mất doanh thu tại Trung Quốc mà còn có thể bị ảnh hưởng đến vị thế toàn cầu. Vì vậy, khả năng ASML tự đưa hàng trái phép vào thị trường này được đánh giá là thấp.

Dù vậy, nghi vấn hiện vẫn chưa được giải tỏa hoàn toàn. Khi phía Mỹ chưa công bố bằng chứng cụ thể, tuyên bố của Washington và lập luận từ ASML vẫn đang ở thế đối nghịch.

Trong khi đó, Mỹ cũng đẩy nhanh nỗ lực phát triển công nghệ quang khắc thế hệ tiếp theo. Cuối năm ngoái, Bộ Thương mại Mỹ công bố kế hoạch hỗ trợ tối đa 150 triệu USD cho startup xLight nhằm phát triển công nghệ nguồn sáng mới, được giới công nghiệp đánh giá là có thể thách thức EUV của ASML về dài hạn. Tại Quốc hội Mỹ, một dự luật lưỡng đảng nhằm siết xuất khẩu sang Trung Quốc không chỉ với EUV mà cả DUV cũng đang được thúc đẩy và đã vượt qua một ủy ban chủ chốt hồi tháng 4.

Thị trường hiện theo dõi liệu Mỹ có công bố thêm bằng chứng hay không, cũng như khả năng Washington tiếp tục siết chặt các biện pháp kiểm soát chất bán dẫn đối với Trung Quốc.