Bộ Khoa học và ICT Hàn Quốc (MSIT) ngày 11/11 cho biết sẽ phối hợp với Samsung Electronics để nâng chuẩn vận hành các nano fab công và củng cố hạ tầng nghiên cứu bán dẫn. Động thái này nhằm chuyển giao kinh nghiệm vận hành fab từ khối sản xuất sang các cơ sở nghiên cứu công, qua đó hỗ trợ hoạt động R&D và đào tạo nhân lực trong nước.

Cùng ngày, MSIT tổ chức “Hội nghị báo cáo kết quả tư vấn tối ưu vận hành nano fab công giữa Samsung Electronics và Korean Nano Technology Institute, cùng lễ chuyển giao thiết bị đã qua sử dụng cho MoaFab” tại Korean Nano Technology Institute, Suwon, tỉnh Gyeonggi.

Sự kiện là bước tiếp theo của thỏa thuận hợp tác được MSIT, Samsung Electronics, SK hynix và DB HiTek ký vào tháng 3/2025. Từ tháng 6 đến tháng 10 năm nay, Trung tâm Hợp tác cùng phát triển thuộc khối DS của Samsung Electronics đã triển khai tư vấn về vận hành và quản lý fab cho Korean Nano Technology Institute, sau Nano Integration Technology Institute và Nano Convergence Technology Institute.

Theo MSIT, chương trình này được phát triển trên cơ sở mô hình tư vấn theo nhu cầu mà Samsung Electronics đang áp dụng cho các doanh nghiệp vật liệu, linh kiện và thiết bị bán dẫn, nhưng đã được điều chỉnh để phù hợp với đặc thù của nano fab công. Kinh nghiệm vận hành và quản lý fab được chuyển hóa thành quy trình thao tác chuẩn (SOP), biểu mẫu kiểm tra, tiêu chuẩn đào tạo và quy trình vận hành cho từng thiết bị tại Korean Nano Technology Institute.

Một điểm đáng chú ý là bộ tài liệu kiểm tra hiện trường vốn được sử dụng tại các cơ sở sản xuất hàng loạt trong khu vực tư nhân đã được điều chỉnh để áp dụng cho nano fab công. Nhờ đó, đơn vị vận hành có thể kiểm tra định kỳ mức độ an toàn và tình trạng thiết bị.

Song song với hoạt động tư vấn, Samsung Electronics cũng chuyển giao thiết bị đã qua sử dụng cho Korean Nano Technology Institute. Thông qua “chương trình hỗ trợ tận dụng thiết bị đã qua sử dụng của MoaFab” do MSIT triển khai, các nano fab công tiếp nhận thiết bị và được hỗ trợ chi phí vận chuyển, chuyển giao và lắp đặt.

Thiết bị được chuyển giao lần này là hệ thống đo màng mỏng tự động theo mẫu, cho phép đo chính xác bằng phương pháp không phá hủy độ dày của màng mỏng đơn lớp, đa lớp cũng như hằng số quang học trên wafer bán dẫn 8 inch. Korean Nano Technology Institute cho biết thiết bị này sẽ giúp bổ sung năng lực đo kiểm tự động màng mỏng cho wafer 8 inch.

Ông Ji Hyun-gi, Phó chủ tịch kiêm Giám đốc Trung tâm Hợp tác cùng phát triển thuộc khối DS của Samsung Electronics, cho biết công ty kỳ vọng kinh nghiệm đổi mới trong sản xuất sẽ được chia sẻ thông qua các nano fab công, từ đó tiếp tục hỗ trợ các nhà nghiên cứu và doanh nghiệp vật liệu, linh kiện, thiết bị bán dẫn. Theo ông, Samsung Electronics sẽ tiếp tục đồng hành để nhân rộng mô hình tư vấn này sang các tổ chức khác tham gia MoaFab.

Ông Koo Hyuk-chae, Thứ trưởng thứ nhất của MSIT, nhấn mạnh bộ sẽ mở rộng trên toàn bộ các tổ chức tham gia MoaFab những mô hình hợp tác như tư vấn từ doanh nghiệp tư nhân và chuyển giao thiết bị đã qua sử dụng, nhằm nâng chuẩn vận hành nano fab công. Ông khẳng định MSIT sẽ tiếp tục hỗ trợ mạnh mẽ cho đổi mới công nghệ bán dẫn và đào tạo nhân lực chuyên môn.

MSIT cho biết sẽ chia sẻ kết quả tư vấn cùng bộ tài liệu kiểm tra hiện trường với toàn bộ các tổ chức tham gia MoaFab. Trong thời gian tới, mô hình này sẽ lần lượt được mở rộng sang Trung tâm Công nghệ Bán dẫn Chuyên dụng của Viện Nghiên cứu Điện tử và Viễn thông Hàn Quốc (ETRI), Viện Nghiên cứu Bán dẫn Chung của Đại học Quốc gia Seoul, và Viện Nghiên cứu Cảm biến Thế hệ mới - Bán dẫn thuộc Viện Khoa học và Công nghệ Daegu Gyeongbuk (DGIST).