DB HiTek将把闲置半导体设备无偿捐赠给韩国公共纳米工艺平台参与机构，用于半导体关键工艺研发和技术验证。
韩国科学技术信息通信部6日在忠清北道阴城郡DB HiTek尚友园区举行“DB HiTek-MoA Fab二手设备移交协议”签约仪式。此次协议是韩国科学技术信息通信部于2025年3月与Samsung Electronics、SK hynix、DB HiTek三家半导体企业签署合作备忘录后的后续落地举措。
根据协议，DB HiTek将把所持闲置设备无偿移交给MoA Fab参与机构Nano Comprehensive Technology Institute和Nano Convergence Technology Institute。相关设备今后将用于半导体关键工艺研发及技术验证支持。
其中，Nano Comprehensive Technology Institute将引进一套8英寸热处理沉积设备，可用于超小型精密部件，以及声学麦克风、压力传感器、红外传感器等各类传感器结构膜的薄而均匀沉积。
Nano Convergence Technology Institute则将引进8英寸干法刻蚀设备和表面镀膜设备。韩国科学技术信息通信部表示，与现有工艺相比，该设备可在不损伤超微细、超薄膜部件的情况下实现剥离，从而减少工艺步骤，提升部件质量和成品完整度。
韩国科学技术信息通信部还表示，正以连接全国公共纳米工艺平台的MoA Fab为依托，推动企业闲置设备向公共纳米工艺平台流转的政企协作模式。通过“MoA Fab二手设备利用支持项目”，政府计划在2026年至2033年间总计投入750亿韩元，用于支持参与机构的设备搬迁和建设费用。
韩国科学技术信息通信部第一副部长Koo Hyuk-chae表示，DB HiTek此次移交二手设备，是政企携手推动半导体产业生态良性循环的合作案例。韩国科学技术信息通信部今后还将进一步升级公共纳米工艺平台科研支撑基础设施，支持先进半导体和纳米技术创新以及专业人才培养。
Jin-ho Lee
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