SemitES正将“OHT（空中搬送系统）+洁净输送线”的组合方案作为突破晶圆厂物流瓶颈的核心策略，并计划进一步把业务延伸至氮气（N2）Purge系统。

4月9日，SemitES在首尔汝矣岛举行记者会，介绍半导体自动化物料搬运系统（AMHS）的核心技术，以及上市后的发展规划。SemitES CEO Min Nam-hong表示，公司已在技术门槛较高的半导体前段工艺市场站稳脚跟，帮助全球晶圆厂提升良率和产能，并希望以此次登陆KOSDAQ为契机，成长为AMHS领域的全球化企业。

在Min Nam-hong看来，当前半导体工厂物流仍以OHT为主，但全球市场约90%的份额集中在两家日本企业手中。与此同时，OHT部署数量并非越多越好，当系统规模扩大到一定程度后，拥堵问题会拖累整体效率。

基于这一判断，SemitES提出以OHT作为主系统、以洁净输送线作为辅助系统的混合运行模式，将搬运、等待和存储环节分流，从而提升晶圆厂整体产出。Min Nam-hong表示，相较单独使用OHT，引入洁净输送线后，系统效率和产出均可改善。目前，SemitES在韩国和中国的半导体前段工艺洁净输送线市场均保持唯一供应商地位。

除硬件能力外，SemitES也强调自身的软件竞争力。Min Nam-hong表示，外界通常将公司视为硬件企业，但其实其核心能力更接近于能够处理实时海量数据的软件架构企业。其中，分散控制技术是提升单位小时搬运量、并支撑公司维持前段工艺唯一供应商地位的关键。公司还建立了覆盖PCB设计、固件、硬件、软件及服务器的自研团队，以便更快响应客户需求。

SemitES透露，公司目前在手订单约273亿韩元，预计今年营收将创下成立以来新高。

在新产品布局方面，SemitES正开发下一代物流平台——工艺转运机器人。现有OHT需沿单一轨道运行，单座半导体工厂的部署量通常在约1000台附近接近上限。相比之下，SemitES研发中的下一代工艺转运机器人计划在天花板区域构建立体运行中的平面行驶空间，使设备能够自由左转、右转和掉头。

公司表示，该方案可结合AI算法进行路径规划和实时状态监控，预计以约600台机器人的规模，实现接近1000台OHT的搬运处理能力。当机器人发生故障时，还可由独立的救援机器人进行回收，以保障系统连续运行。Min Nam-hong称，公司目标是在未来2至3年内完成相关开发。

以“S Plate”推出不影响设备保修的N2导入方案

除优化输送线物流外，SemitES还计划将N2 Purge系统培育为新的收入支柱。公司介绍，在10nm以下先进制程，以及HBM等7nm以下工艺中，向晶圆存放盒注入N2惰性气体，可将良率提升约3%。这一数值基于学术期刊所引用的行业通用数据，反映的是N2注入本身带来的效果；在此基础上，SemitES进一步提出了“无需改造设备”的客户方案。

按照传统做法，需先将Load Port从设备上拆下并进行分解，再完成用于N2注入的开孔和管路施工后重新组装，属于典型的设备改造流程。若未经设备制造商同意实施，可能导致设备保修失效。对此，SemitES表示，公司已开发出无需改造设备的方案：只需在Load Port上方加装厚度为3毫米的“S Plate”，即可实现N2注入。N2供气管路也无需穿过设备内部，而是沿Load Port侧面外接至控制器。

Min Nam-hong表示，该方案的吸引力在于无需触及设备保修范围即可帮助客户提升良率。目前，该方案正在韩国及海外市场进行Qual测试，预计今年内将有结果。