Justem将于Semicon Korea 2026期间展示新型温湿度控制方案JDS（Justem Dry System）。公司2月4日表示，将参加11日起在首尔COEX举行、为期三天的Semicon Korea 2026，并在展会上推出该产品。
JDS结合了Justem第二代湿度控制方案JFS（Jet Flow Straightener）和第三代方案JDM（Jet Dry Module）的功能，可同步调控EFEM与FOUP的温湿度。其中，FOUP内湿度可维持在1%以内，EFEM内部湿度可控制在5%至10%。与此同时，系统还可对温度进行控制，以降低污染风险并提升良率。Justem表示，JDS目前已完成开发，计划于今年下半年上市。
除JDS外，Justem此次还将重点展示第二代方案JFS。该方案主要用于气流控制，历时约3年研发完成，目前已向Samsung Electronics等全球半导体企业供应1700套。
公司还将公开下一代湿度控制方案JPB（Jet Purge Buffer）。该产品定位于用于去除工艺后晶圆烟雾的设备，可在将湿度维持在5%以下的同时实现主动吹扫。
Justem总裁 Kim Yongjin表示，JDS与JFS正逐渐成为提升良率的重要配置。对于正步入超级周期的半导体市场而言，Justem的湿度控制方案有望发展为全球标准。
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Daegeon Seok
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