搜索关键词 JPB Industry Justem将携新型温湿度控制方案JDS亮相Semicon Korea 2026 Justem宣布，将在Semicon Korea 2026上展示温湿度控制方案JDS（Justem Dry System）。该方案可同步控制EFEM与FOUP的温湿度，将FOUP内湿度维持在1%以内、EFEM内湿度控制在5%至10%，并通过温度控制降低污染风险、提升良率。JDS目前已完成开发，计划于2026年下半年上市。
Industry Justem将携新型温湿度控制方案JDS亮相Semicon Korea 2026 Justem宣布，将在Semicon Korea 2026上展示温湿度控制方案JDS（Justem Dry System）。该方案可同步控制EFEM与FOUP的温湿度，将FOUP内湿度维持在1%以内、EFEM内湿度控制在5%至10%，并通过温度控制降低污染风险、提升良率。JDS目前已完成开发，计划于2026年下半年上市。
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