IBM và Lam Research đã ký thỏa thuận hợp tác kéo dài 5 năm nhằm phát triển công nghệ chế tạo chip dưới 1 nm, trong đó trọng tâm là quang khắc High-NA EUV, vật liệu mới và các cải tiến trong quy trình sản xuất bán dẫn.
Theo nội dung thỏa thuận, hai bên sẽ cùng thúc đẩy phát triển vật liệu mới, đổi mới quy trình chế tạo và đẩy nhanh lộ trình thu nhỏ chip logic của IBM. Một trọng tâm khác của hợp tác là hoàn thiện năng lực công nghệ High-NA EUV cho các thế hệ bán dẫn tiếp theo.
Hoạt động nghiên cứu sẽ được triển khai tại tổ hợp công nghệ nano NY CREATES Albany tại bang New York, nơi IBM cung cấp hạ tầng nghiên cứu còn Lam Research đóng góp các thiết bị và công nghệ quy trình. Trong đó, Lam Research sẽ tham gia với các công nghệ dry resist, nền tảng etch và hệ thống deposition.
Thông qua hợp tác này, hai công ty đặt mục tiêu nâng cao quy trình High-NA EUV và tăng khả năng đáp ứng các cấu trúc linh kiện ngày càng phức tạp.
Trước đó, IBM đã giới thiệu chip 2 nm vào năm 2021 và hiện cũng đang hợp tác với Rapidus của Nhật Bản để thúc đẩy kế hoạch sản xuất hàng loạt sản phẩm 2 nm vào năm tới. Tuy nhiên, hai bên hiện chưa công bố đối tác gia công chip cũng như thời điểm thương mại hóa cụ thể.
Ông Mukesh Khare, người đứng đầu bộ phận bán dẫn của IBM, cho biết Lam Research đã là đối tác chủ chốt của hãng trong hơn 10 năm qua và góp phần tạo nên những bước tiến quan trọng trong thu nhỏ chip logic cũng như kiến trúc linh kiện, trong đó có công nghệ nanosheet và chip 2 nm đầu tiên trên thế giới. Ông cho biết IBM kỳ vọng việc mở rộng hợp tác sẽ giúp hiện thực hóa High-NA EUV và các nút công nghệ dưới 1 nm.
Trong khi đó, ông Vahid Vahedi, Giám đốc công nghệ kiêm phát triển bền vững của Lam Research, nhận định khi ngành bán dẫn bước vào giai đoạn mở rộng theo chiều dọc 3D, vật liệu, quy trình và công nghệ quang khắc cần được thiết kế lại như một tổng thể thống nhất để đáp ứng yêu cầu tích hợp mật độ cao. Theo ông, Lam Research sẽ phối hợp với IBM để đẩy nhanh quá trình phát triển các transistor hiệu năng cao, tiêu thụ điện năng thấp, vốn là nền tảng thiết yếu cho kỷ nguyên AI.