太赫兹检测解决方案供应商TeraView于26日宣布，已获得EOTPR太赫兹检测系统的追加订单，客户分别为一家全球晶圆代工企业和一家智能手机厂商。两家客户此前均已导入并使用EOTPR系统。
EOTPR是一套利用太赫兹（THz）电磁波进行高精度检测的设备。此次下单的晶圆代工客户长期向AI芯片制造商供应关键部件，多年来一直使用EOTPR。该客户在计划于今年第二季度导入EOTPR自动化功能的同时，也续签了维护服务合同。
在半导体检测方面，EOTPR可识别HBM器件相关微凸点缺陷，并检测凸点内部裂纹。TeraView表示，与2D X射线在线检测设备相比，该系统在灵敏度和检测性能方面更具优势。
此外，EOTPR还可快速、无损识别TSV缺陷，并能高灵敏度检出ATE难以发现的基板缺陷及质量变化。
在柔性PCB检测场景中，该设备无需拆解产品，即可发现内部走线断裂、层间剥离等细微缺陷，可应用于智能手机、折叠屏显示器和可穿戴设备所使用的柔性电路板检测。与此同时，设备还可分析柔性PCB与陶瓷封装电连接凸点区域中的键合不良和微裂纹等问题。
TeraView方面表示，公司基于EOTPR在实际使用过程中积累的数据，获得了客户对其技术可靠性的认可；其定制化支持和维护服务能力也获得客户高度评价。
TeraView首席执行官Don Arnone表示，此次追加采购的两家客户均实现了创纪录的营收增长，这一趋势同样体现在《财富》500强企业以及全球主要AI和HBM芯片供应商的订单表现上。他称，EOTPR能够覆盖AI芯片制造与供应企业、晶圆代工厂等半导体产业链客户，满足多样化检测需求。
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Daegeon Seok
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