随着半导体晶圆厂规模不断扩大、全无人化建设持续推进，EUV光罩等高价值资产的自动存储与搬运需求正在快速上升。与此同时，大型设备供应商多以标准化产品为主，针对单一晶圆厂环境的定制化解决方案相对不足。德国洁净室物流自动化企业Vision in Automation GmbH正瞄准这一市场空白，加快布局韩国市场。

Semicon Korea 2026期间，Vision in Automation亚洲销售负责人Martin Hofmann借助EU Business Hub项目赴韩参展。Martin Hofmann表示，韩国企业正以建设全无人晶圆厂为目标推进产线升级，定制化洁净室物流系统的需求有望进一步增长。

Vision in Automation成立于2013年，总部位于德国德累斯顿。Martin Hofmann介绍，大型物流设备供应商通常倾向于批量生产标准化产品，较难响应客户的特殊需求，Vision in Automation正是在这一市场缺口上成立并发展起来。

目前，Vision in Automation可提供用于晶圆厂内FOUP跨楼层搬运的升降系统，打通传送带或OHT在不同楼层之间的传输路径，并可灵活配置人工操作端口，以优化物流动线。其升降产品覆盖多个应用场景，包括应对0.1米至2米高度差的Level Shifter、采用气浮轴承的Short Lift（最高5米），以及最高可达30米的Flex Lift。

在此基础上，公司还根据客户需求开发了长期存储系统（Long Term Storage），可对FOUP、卡匣、Reticle盒、探针卡等物料进行自动存储，并提供整套交付方案。该系统采用模块化设计，可根据晶圆厂空间条件和层高灵活配置，长度最长可扩展至50米，高度可达6米。

Martin Hofmann表示，该方案可满足ISO-5洁净室等级要求，并兼容SEMI E88、MES及GEM/SECS标准，可接入工厂自动化系统。公司还曾将多套存储系统互联，实现全厂统一仓储调度，形成名为“Die Bank”的落地案例。

【聚焦Reticle自动化，支撑全无人晶圆厂建设】

除FOUP物流外，EUV光罩等高价值资产管理也是Vision in Automation的核心业务之一。公司开发了Reticle分类与存储自动化设备，并已应用于ULVAC的Reticle清洗机。过去，Reticle需由人工放入清洗设备；而在接入其Reticle分拣设备后，相关流程已可实现自动化运行。

在质量管理方面，Vision in Automation会在自有洁净室内完成设备制造和长期测试后再行交付。Martin Hofmann表示，公司设备均采用模块化设计，客户可通过即插即用方式完成安装，从而尽可能降低导入风险。

此外，公司还提供FOUP Pod存储系统。Martin Hofmann表示，客户已不再希望依赖人工方式管理FOUP Pod，而大型设备厂商往往因市场规模有限，不愿投入此类细分产品的开发。基于这一需求，Vision in Automation采用模块化设计，可支持将Load Port布置于侧面、正面或后方等不同位置。

目前，Vision in Automation尚无与韩国企业合作的落地案例。不过，公司在此次访韩期间已与多家企业展开接触，对后续拿单前景更为乐观。Martin Hofmann称，部分企业已对Tool Loader以及Reticle存储、分拣方案表现出兴趣。公司也计划与当地合作伙伴协作，保障项目的稳定落地和后续运营。