[디지털투데이 고성현 기자] 신성이엔지가 국내 반도체 산업 성장에 이바지한 클린룸의 주요 장비를 대거 선보였다.

신성이엔지는 오는 7일까지 서울 코엑스에서 개최되는 '제24회 반도체 대전(SEDEX2022)에 참가한다고 밝혔다. 반도체 대전은 반도체, 장비, 부품, 재료, 설비, 센서 등과 반도체 기반 첨단 제품 및 기술을 접할 수 있는 종합전시회다.

신성이엔지는 이번 전시회에서 클린룸 주요 장비인 팬 필터 유닛(FFU)과 ▲기류 연동 시스템 ▲휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) ▲파티클 가시화 시스템 등을 소개했다. 모두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다. 

휘발성유기화합물(VOCs) 제거 장비인 V-master는 신성이엔지가 2005년 국내 최초 개발한 장비다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거한다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조 환경에서 용제 등의 이유로 잔존하는 유해물질을 제거하기 위한 장비다.

기류 연동 시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 장비 내부의 압력 유지와 청정한 공기를 공급한다. 공기의 흐름이 역방향으로 흐르게 되면, 내부에 설치된 기류방향표시기가 이를 감지해 FFU와 EFU(Equipment Fan-filter Unit) 팬의 회전율을 높여 기류가 정방향으로 흐를 수 있도록 한다.

파티클 가시화 시스템은 반도체 공정 중에 발생하는 불량을 발생시키는 파티클(먼지)를 가시화해 오염 원인을 파악하고 해결책을 직관적으로 도출하는데 사용된다.

신성이엔지 관계자는 "최근 3D프린팅 기술을 통한 제품 개발로 적은 비용으로 빠른 설계와 생산을 가능하게 해 초격차 산업에서 우위를 선점하고 있다"며 "끊임없는 연구를 통해 이차전지 제조 공간인 드라이룸도 개발하는 등 반도체를 넘어 첨단산업 환경 전반을 개선하는 것을 목표로 할 것"이라고 말했다.