[디지털투데이 고성현 기자] 국내 최대 반도체 장비 전시회 '세미콘 코리아 2022(SEMICON KOREA 2022)'가 개막했다. 코로나19로 인해 오프라인 개최는 3년 만이다.

세미콘코리아는 9일부터 11일까지 사흘간 서울 코엑스에서 열린다. 전시장에는 원익, 세메스, 동진쎄미켐, 주성엔지니어링, 테스 등 국내외 대표 소재·부품·장비 500여 기업이 참여해 2000개 부스를 통해 최신 반도체 기술을 선보인다.

이날 부스로 참석한 제너셈은 모바일, 웨어러블 등에 활용하는 'EMI 실드 솔루션'을 공개했다. EMI 실드는 반도체 칩에서 발생하는 전자파가 다른 전자기기를 방해해 오작동하지 않도록 차폐하는 공정이다. 제너셈은 차폐막을 형성하는 스퍼터링(Sputtering) 공정을 제외한 장비 솔루션을 공급하고 있다.

올해 코스닥 상장을 노리는 영창케미칼은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF) 포토레지스트와 극자외선 린싱 솔루션(EUV Rinsing Solution)을 선보였다. KrF와 ArF 포토레지스트는 주로 메모리 반도체 등의 노광 공정에 활용하는 소재다. EUV 린싱 솔루션은 EUV 노광 공정 시 발생하는 이물질을 제거하는 솔루션이다.

세미콘 코리아 2022는 행사 기간 중 다양한 비즈니스 지원 프로그램을 진행한다. 

국내 소부장 기업의 해외 진출 지원을 위해 ‘구매상담회’가 열린다. 구매상담회는 해외 소자업체인 인텔, 마이크론, 키옥시아, 소니 등이 참여해 국내 소부장 기업과 약 50회 이상 비즈니스 미팅을 진행한다.

한·미 반도체 파트너십 투자설명회는 온라인으로 개최된다. 지난해 산업통상자원부와 미 상무부간 반도체 파트너십 대화 후속조치로, 양국 반도체산업 경쟁력 제고와 공동 생태계·공급망 강화를 위해 마련됐다. 첫날은 미국 진출 희망기업을 위한 정책을 소개하는 세션이, 둘째날에는 한국 진출 희망기업을 위한 투자설명회 세션이 진행된다.

이와 함께 최신 반도체 제조기술과 시장 트렌드 공유를 위한 온라인 컨퍼런스도 진행한다. 삼성전자, ASML, 현대모비스, IonQ의 기조연설을 시작으로 전 세계 약 120여명의 반도체 전문가가 20여개 컨퍼런스를 통해 인사이트를 공유한다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)의 글로벌 인재양성 사업인 WFD(Workforce Development)와 DEI(Diversity, Equity, Inclusion) 프로그램 일환으로 반도체직 멘토링, 우먼-인테크놀로지 프로그램도 열린다.

SEMI는 전시회에 앞서 국내 반도체 산업 발전에 기여한 기업에게 수여하는 'SEMI 어워드 시상식'을 진행했다. 이번 어워드에서는 'SEMI Innovation 어워드'와 'SEMI Recognition' 등 2개 부문 상을 시상한다.

SEMI Innovation 어워드는 반도체 소부장 분야에서 신기술·신제품 개발로 독자적 기술과 품질 경쟁력을 갖춰 산업 발전에 기여한 중소기업을 선정해 수여하는 상이다. 올해는 BMT, 아스플로, 원에스티, 이솔이 수상했다.

SEMI Recognition 어워드는 프로그램 분야와 표준 분야로 나뉜다. 프로그램 분야는 반도체 산업 종사자에게 유익한 콘텐츠를 전달한 개인에게 수여하는 상이다. 인티그리스의 안요한 전무가 수상했다.

표준 분야는 SEMI 국제 표준 활동을 통해 반도체 산업이 필요로 하는 SEMI 국제 표준 제정에 기여한 개인에게 수여하는 상이다. 김재홍 LG디스플레이 책임이 수상했다.

SEMI 관계자는 “3년만에 돌아온 세미콘 코리아가 산업에 새로운 혁신을 불러일으키고 더 건강한 반도체 공급망을 구축하는데 큰 힘이 되기를 바란다”며 “SEMI는 앞으로도 세미콘 코리아뿐만 아니라 다양한 프로그램을 통해서 격변하는 환경 속에서 반도체산업 성장에 도움이 되는 비즈니스 지원 활동을 지속하겠다”고 말했다.