[디지털투데이 고성현 기자] 반도체 특수가스 기업 티이엠씨는 미국 나스닥 상장사인 인테그리스가 회사를 상대로 제기한 반도체 이온 주입용 안전용기 특허 소송에서 승소했다고 1일 밝혔다.

이 소송은 지난 2020년 12월 티이엠씨가 개발한 안전용기를 인테그리스가 서울지방법원에 특허권침해금지 및 손해배상 소송을 제기하며 시작됐다. 특허심판원은 티이엠씨측 손을 들며 해당 특허가 무효함을 심결했고, 처음 서울지법에 제기된 소송도 지난 10월 기각됐다. 이후 추가 항소 없이 약 2년만에 소송이 종결되며 티이엠씨는 독자 기술을 인정받게 됐다.

특허권 분쟁이 있던 안전용기는 반도체 공정에 사용하는 맹독성 특수가스 누출을 차단하는 용기다. 이온주입 장비가 운전되는 클린룸 안에 장착된다. 티이엠씨는 독자 기술로 안전용기 개발 및 제조 국산화에 성공했고, 2021년부터 양산, 고객사에 공급을 확대해왔다.

티이엠씨가 자체 개발하기 전에는 인테그리스와 독일 린데가 공급을 주도했다. 티이엠씨는 이번 특허권 승소로 반도체 특수가스 시장에서 양산 확대 기회가 열렸다고 보고 있다.

유원양 티이엠씨 대표는 “이번 소송 진행을 통해 티이엠씨의 기술이 인정받게 되어 다행이라고 생각한다”며 “안정적인 소재 공급을 통해 해외 의존도를 낮추고자 하는 것이 티이엠씨가 궁극적으로 추구하고자 하는 가치”라고 말했다.