[디지털투데이 석대건 기자] 웨이퍼 본딩·리소그래피 장비 제조 전문 기업 EV그룹(이하 EVG)가 반도체 웨이퍼 프로브 카드 기업 피엠티(PROTEC MEMS Technology)와 리소스케일(LITHOSCALE) 마스크리스 노광 시스템에 대한 공급 계약을 체결했다고 24일 밝혔다.

이번 계약을 통해 EVG은 리소스케일 시스템을 충남 아산시에 위치한 피엠티 본사에 설치한다. 첨단 NAND, DRAM, 고대역폭 메모리(HBM) 디바이스의 웨이퍼 레벨 테스트용 차세대 MEMS 기반 프로브 카드 제조에 사용될 예정이다.

EVG의 MLE™(Maskless Exposure) 기술을 적용한 리소스케일 시스템은 실시간 데이터 전송과 함께 디지털 프로세싱으로 즉각적인 노광이 가능하다. 또 기존 리소그래피 방식의 병목 문제를 해결하기 위해 높은 구조적 분해능 및 생산 처리량 확장성을 갖췄다.

특히 MEMS 제조에서 마스크를 사용하지 않는 리소스케일은 높은 초점 심도와 고분해능(2m 수준의 L/S(Lines&Spaces))을 지원해, 마스크를 사용하지 않고도 미세 피치 프로브 카드의 핵심 기술인 고밀도 재배선 레이어(RDL)와 비아(Via) 연결이 가능하다.

조용호 피엠티 대표는 "EVG의 마스크리스(Maskless) 노광 장비인 LITHOSCALE로 대체함으로써 제조 비용의 절감이 가능하고, 공정 개발 속도 또한 혁신적으로 단축 가능할 뿐 아니라 프로세스 성능도 더욱 향상할 수 있을 것"이라며 "앞으로도 우리는 첨단 프로브 카드 제조 및 개발에 있어 EVG의 LITHOSCALE뿐 아니라 다양한 프로세스 솔루션을 통한 협력을 이어갈 것으로 기대한다”고 말했다.

윤영식 EVG 한국지사장은 “프로브 카드를 사용하는 웨이퍼 레벨 테스트는 디바이스 생산 수율을 높이고 다이당 전반적인 테스트 비용을 낮추기 위해서 필수적인 공정"이라며 "리소스케일은 높은 분해능, 다양한 많은 제품 설계를 처리할 수 있는 뛰어난 유연성, 낮은 소유 비용 특성을 결합한 독창적인 솔루션으로서 미세 피치 웨이퍼 프로브 카드 제조용으로 매우 이상적”이라고 말했다.