[아이티투데이 김문기 기자] KLA-Tencor Corporation은 22일 20nm 이하의 설계 노드를 지원하는 IC텐 반도체 공장용의 새로운 레티클 품질 제어 솔루션인 테론 SL650을 발표했다.

 

193nm 조명 기술과 다양한 스타라이트 옵틱 기술을 기반으로 입고되는 레티클의 품질을 평가 및 레티클 변형을 모니터링하고, 패턴이 형성된 부분과 개방부의 헤이즈 증가 또는 오염과 같은 수율에 영향을 주는 불량을 감지하는 데 요구되는 감도와 유연성을 제공한다.

어드밴스트 멀티패터닝 기법과 관련해 많은 수의 레티클을 검증하는 데 필요한 빠른 사이클 타임을 지원한다.
 
KLA-Tencor 레티클 제품 사업부 부사장 겸 사업 본부장 야린 슝 박사는 "IC 제조업체에게 있어 레티클의 상태를 파악하는 것은 패터닝 공정 제어의 핵심적인 단계다. 레티클 품질에 변화가 있을 경우 인쇄하는 모든 웨이퍼에 심각한 영향을 미칠 수 있기 때문이다"라며 "우리 팀은 Teron SL650을 기반으로 IC 반도체 공장에 적합한 소형화된 플랫폼에 첨단 레티클 검사 기술을 적용했다. 그 결과 높은 감도와 생산성은 물론, 향후 노드를 추가할 수 있는 확장성까지 갖춘 레티클 품질 제어 시스템이 구축됐다"고 말했다. 
 
각각 싱글 다이 레티클과 멀티 다이 레티클을 지원하는 스타라이트SD 및 STAR라이트MD가 사용돼 공장 내에서 다양한 레티클 유형을 혼용할 수 있다. 불량 포착 성능이 우수하고 포괄적인 검사가 가능하다.

검사 시스템에 대한 자세한 정보는 RAPID IC 팹 시리즈 제품 페이지에서 확인할 수 있다.

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