중국 최대 디스플레이 업체 BOE가 중국 윈난성 쿤밍에 건설하고 있는 마이크로 유기발광다이오드(OLED) 라인 장비 공급사들의 윤곽이 드러나고 있다. 마이크로 OLED는 기존 OLED와 기술 방식은 유사하지만, 1인치 당 픽셀수(PPI)가 많으면서 디스플레이 사이즈는 작다.

LCD, OLED와 달리 장비 공급사 역시 면면이 사뭇 다르다.

22일 KIPOST가 집계한 바에 따르면 BOE는 총 16건의 마이크로 OLED용 장비 공급사를 확정했다. 이번에 선정된 공급사들 중에는 기존 6세대(1500㎜ x 1850㎜) OLED 라인 협력사도 있지만, 처음 이름을 올린 회사들도 눈에 띈다.

6세대 OLED용 라인 핵심장비인 증착기(Evaporator)는 일본 캐논도키가 독식하고 있지만, 이번 마이크로 OLED용 라인에는 일본 조슈인더스트리가 공급사로 선정됐다.

이처럼 비교적 신생 업체가 파일럿 라인에 증착기를 공급할 수 있는 것은 마이크로 OLED가 박막트랜지스터(TFT)가 아닌 웨이퍼 위에 바로 유기물질을 증착하기 때문이다. 기존 6세대 OLED는 가로 1500㎜, 세로 1850㎜의 대형 기판을 절반으로 잘라 그 위에 유기물질을 증착한다.

그러나 마이크로 OLED는 지름 200㎜, 혹은 300㎜ 웨이퍼를 트랜지스터 삼아 그 위에 바로 증착한다. 디스플레이 크기가 1인치가 채 되지 않기 때문에 가능한 일이다. 기판 사이즈가 작다 보니 증착 난이도가 훨씬 낮다.

한편, 이번 협력사들 중에는 국내 업체인 AP시스템도 이름을 올렸다. 플라즈마기상화학증착장비(PECVD) 두 건을 수주했다. 이는 웨이퍼 위에 트랜지스터를 형성하기 위한 장비, 혹은 봉지 공정용 장비일 것으로 추정된다.

그동안 OLED용 건식식각장비는 일본 도쿄일렉트론이나 국내 업체 아이씨디가 수주했으나, 이번에는 램리서치가 주인공이 됐다. 노광장비도 니콘⋅캐논이 아닌 반도체용 장비 업체인 ASML에 돌아갔다.