극자외선(EUV) 노광 시대가 코앞으로 다가왔다. 

삼성전자는 연말, TSMC는 내년 각각 EUV를 활용한 2세대 7나노(㎚) 반도체를 생산하기 시작한다. 

아직 펠리클과 포토레지스트(PR) 등 남은 과제가 산적해있는 가운데 EUV의 현재와 업계가 그리고 있는 앞으로의 미래를 짚어본다.

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