[디지털투데이 오은지 기자] KLA-텐코(지사장 정용식)는 레티클 블랭크 검사 장비 'FlashScan' 제품군을 첫 출시했다고 17일 밝혔다.

레티클은 반도체 회로를 그리기 위해 포토(노광) 공정에서 쓰는 부품으로, 여러번 반복적으로 위치를 바꿀 수 있는 포토마스크를 일컫는다. 레티클 블랭크는 레티클을 제작하는 데 필요한 기본 틀로, 복합 소재로 이뤄진 기판이다.   

FlashScan 장비는 블랭크 제조 업체에서 결함을 찾아내거나 레티클 제조 업체(마스크숍)에서 검사, 툴 모니터링, 공정제어를 하는데 쓴다.

극자외선(EUV) 노광용 레티클 블랭크를 검사할 수 있다. 빈 기판, 흡수층(absorber film), 감광 코팅면의 결함을 검사한다. 3채널 컬렉터를 이용, 감광 코팅 면의 핀홀, 블랭크를 제조하거나 운송할 때 떨어진(fall-on) 입자의 크기와 결함 유형을 포착한다. 

독자 산란 기술을 활용해 현재 생산되거나 개발하고 있는 모든 광학, EUV 블랭크 감도와 속도 요구 사항에 부합한다고 회사측은 설명했다.