[디지털투데이 박찬길 기자] 중국 디스플레이 업체 BOE가 전달에 이어 6월에도 연구개발용 장비를 대량으로 발주했다. 이외에도 CSOT와 티안마는 수율을 높이는 장비를 발주하며 연구를 통한 수율 제고에 본격적으로 집중하는 모양새다.

3일 중국국제초표망에 따르면 BOE는 OLED용 파인메탈마스크(FMM)를 용접하는 장비를 포함해 총 15건 연구개발 장비 입찰을 진행한 것으로 나타났다. 이 장비들은 전달에 이어 주로 플렉서블 OLED 연구개발용 장비인 것으로 보인다. BOE는 지난 5월에도 플라즈마화학기상증착장비(PECVD), 레이저리프트오프장비(LLO) 등 11건의 연구개발 장비를 주문했다.

중국국제초표망은 한국의 조달청과 같은 역할을 한다. 중국 내 공공기관뿐 아니라 중국정부의 지원을 받는 업체들도 이곳을 통해 장비 등을 입찰한다. 네 가지 과정을 통해 입찰이 진행되는데, 세번째 과정인 사전평가(Evaluation Results)에서 1위를 차지한 업체들은 큰 이변이 없을 경우 최종 선정으로 이어진다.

BOE에서 이번에 발주한 주요 장비는 OLED 모듈 제작에 사용되는 라미네이터(Laminator), OLED 마스크 공정 장비 ‘FMM Tension Machine’ 등이 있다.

이외에도 CSOT, 티안마는 각각 수율을 높이기 위한 장비를 발주했다. 우선 CSOT는 6세대 생산라인에 불량 박막트랜지스터(TFT) 수리장비인 ‘PI Dry Rework’를 구매했다. 이 장비는 제작과정에서 발생한 불량 TFT 기판의 유기막을 제거한다. 이렇게 된 TFT 기판은 다시 생산라인에 투입돼 정상 제품으로 제작된다.

티안마는 6월 디스플레이 장비 입찰에서 파티클 모니터시스템을 구입했다. 수율에 결정적인 영향을 끼치는 작은 먼지(파티클)을 확인해 수율을 높이겠다는 의도로 풀이된다.

중국 디스플레이 업체들은 OLED 사업을 준비하면서 지금까지 꾸준히 수율 문제에 시달려왔다. 한 업계 관계자는 “중국 디스플레이 업체들이 OLED 양산에 성공했다는 연락을 받곤 한다”며 “그러나 수율이 10%는 되냐고 묻게 될 만큼 중국 디스플레이 업체들의 OLED  제조 수율은 굉장히 낮다”고 설명했다.

저수율에도 중국 디스플레이 업체들이 대규모 장비 입찰을 계속 진행하는 것은 정부 보조금덕택이다. 중국 정부는 디스플레이 업체들에 2020년까지 장비 보조금을 지원한다. 중국 업체들은 보조금이 지급되는 지금 장비를 먼저 사들인 뒤 연구를 통해 OLED 생산 수율을 높일 계획이다.

중국 디스플레이 업체의 6월 장비 발주 내역은 아래와 같다. 사전평가 1위 업체는 업체명 뒤에 ‘**’를 표기했으며 앞서 보도한 6월 7일 이전 발주 내역은 제외했다.