[디지털투데이 오은지 기자] 글로벌 화학·소재 전문 업체인 인테그리스가 경기도 화성 장안공장에 반도체용 기체 정제 시스템(GPS, Gas Purification Systems) 생산 기지를 구축한다. 이미 3500만달러(약 400억원) 이상 투자됐고 신규 인력 60여명을 신규 채용할 예정이다.

홍완철 인테그리스코리아 지사장은 7일 서울 삼성동 그랜드인터컨티넨탈에서 열린 간담회에서 "한국을 센터오브아시아(COA)로 활용하기 위해 생산 기지를 더욱 확대할 것"이라고 말했다. 장안공장은 지난 2014년 ATMI를 인수하면서 확보한 공장 부지다. 

생산을 시작하는 기체 정제 시스템 '게이트키퍼(GateKeeper)'는 질소, 수소, 아르곤, 암모니아, 청정 건조 공기(CDA) 등을 정제하는 장비다. 반도체 장비에 붙여 쓰거나 공장 하부의 서브팹(Sub Fab), 설비 등에 설치해 각종 장비에 들어가는 기체를 관리한다. 예를 들면 반도체 회로 패턴을 그리는 핵심 장비인 불화아르곤(ArF) 액침(이머전) 장비는 물을 채울 때 이산화탄소(CO2)를 섞는다. 이를 정제하는 데 질소, 수소 등이 들어간다.  

반도체 공정에는 다양한 기체가 사용되는데, 불순물이 섞일 경우 칩에 결함이 생겨 수율을 떨어뜨린다. 많게는 60%까지 떨어질 수 있다. 게이트키퍼는 불순물을 1조분의 1 수준으로 정제해 수율을 개선시킨다.  

홍 지사장은 "정제기는 싱가포르에서 주로 생산을 했는데 한국 반도체 업체 맞춤형(커스토마이징) 제품을 공급하기 위해 생산지를 옮겼다"며 "중국 등에 수출도 하게 될 것"이라고 말했다. 

인테그리스는 이와더불어 특수가스 실린더, 고체 전구체(프리커서), 화학적기계연마(CMP) 패드 컨디셔너 영업도 강화할 계획이다.

이 회사는 맹독성 기체 유출을 차단해주는 저압 실린더 기술 특허를 보유하고 있어 삼성전자, SK하이닉스 신공장에 공급할 예정이다.

화학기상증착(CVD)·원자층증착(ALD) 공정의 원소재인 고체 전구체 종류도 현재 5~6종에서 10종 이상으로 늘린다.

CMP패드 컨디셔너 역시 기존 다이아몬드 기반 방식을 대체한다는 전략이다.