[디지털투데이 석대건 기자] 반도체 업계가 2나노 이하 초미세화 반도체 양산을 위한 기술 개발과 생산 설비 투자를 확대하고 있다. 이에 EUV 장비 수요가 급증할 것으로 예상되는 가운데, 포토 공정 내 노광 과정에 필요한 EUV펠리클 시장이 주목받고 있다.글로벌 반도체 파운드리 업체들이 2나노 이하 초미세화 반도체 양산 속도전을 진행 중이다. 삼성전자와 TSMC 모두 2025년 2나노 반도체 양산을 목표로 기술 개발과 생산설비 투자를 이어가고 있다.이러한 흐름 속 각 업체가 속속 EUV 장비 공정을 확대하고 있다. EUV 장비를 공
[디지털투데이 고성현 기자] 저스템 자회사 플람이 에스앤에스택과 반도체 노광 공정 핵심 부품·소재인 블랭크마스크의 표면처리 장비 공동 개발에 성공했다고 6일 밝혔다.블랭크마스크는 반도체 집적회로(IC) 패턴이 노광되기 전의 마스크다. 석영유리기판 위 금속막과 감광액(포토레지스트)를 도포해 만드는 포토마스크의 원 소재다.이 소재는 제조 과정에서 금속막 위에 포토레지스트 막을 올리기 전 밀착력을 강화해 불순물을 제거하고 빈 공간(Void) 형성을 억제해야 한다. 플라즈마 표면처리 장비는 이 문제를 해결하기 위한 열쇠로 꼽힌다.플람은 에
[디지털투데이 고성현 기자] 챗GPT로 시작된 인공지능(AI) 열풍 속에 고성능·고용량 반도체 수요가 높아지자, 패키징 및 후공정 장비가 갖는 중량감도 커지는 모양새다.TSMC·삼성전자·인텔 등 시스템반도체 부문 위탁생산(파운드리) 업체들을 상대로 첨단 패키징 요구가 높아지면서 광대역폭메모리(HBM) 등 메모리 수요가 높아지는 있다.최근 TSMC가 대만 내 첨단 칩렛(Chiplet) 후공정을 담당하는 공장 가동을 시작한 것으로 전해졌다. 이 공장에서는 고성능컴퓨팅(HPC), AI, 애플리케이션프로세서(AP) 등 첨단 시스템반도체에
[디지털투데이 고성현 기자] "현재 주력 전자현미경 제조 기업들은 제품 하나만으로 조 단위 매출을 낸다. 거의 1조원에 육박하거나 이를 넘는 수준으로다. 원자현미경은 전자현미경, 광학현미경 시장을 대체하거나 새로운 먹거리를 창출할 수도 있는 분야다. 축소지향적인 현대 과학·산업 기술에 맞춰 나노미터(㎚) 시대를 열겠다."지난 19일 경기 수원시 파크시스템스 본사에서 만난 박상일 대표는 "파크시스템스는 끊임없는 기술혁신을 바탕으로 성장한 기업"이라며 "나노 시대로 접어든 반도체부터 나노 바이오에 이르는 신시장을 향해 나아가겠다"는 포
[디지털투데이 고성현 기자] "반도체 웨이퍼에 회로를 그리고 증착하며 깎아내는 칩 제조 공정은 온·습도와 먼지 등에 따라 불량이 발생할 수 있습니다. 공정 환경·공조를 제어하는 장비(THC)는 칩 제조 수율을 높일 수 있는 핵심입니다. 워트는 2000년대부터 쌓아온 노하우를 바탕으로 발빠르게 변화해 반도체 혁신을 돕는 글로벌 기업으로 도약하겠습니다."경기도 화성시 동탄산업단지 본사에서 만난 박승배 워트 대표는 반도체 초정밀 온습도 공정 장비(THC) 분야 선두 기업을 포부로 내걸었다.워트를 창업한 박승배 대표는 반도체 환경·공조 장
[디지털투데이 고성현 기자] 네덜란드 장비 기업 ASML이 1분기 매출액 67억4600만유로(한화 9조7848억원), 당기순이익 19억5600만유로(한화 2조8370억원)를 기록했다고 19일 밝혔다.이는 직전분기 대비 매출 4.91%, 당기순이익 7.64%가 늘어난 수치다. 영업이익률은 50.6%로 직전분기(51.6%) 대비 1%포인트(p) 낮아졌다.ASML은 전세계 반도체 노광장비 1위 기업이다. 반도체 회로를 새긴 포토마스크에 빛을 쬐 웨이퍼에 현상하는 심자외선(DUV), 극자외선(EUV) 노광장비를 생산한다. 특히 EUV 장비
[디지털투데이 고성현 기자] 우리 정부가 일본이 실시한 23개 첨단 반도체 장비 전세계 대상 수출 규제 조치에 대해 국내에는 영향이 없을 것으로 내다봤다.일본 정부는 31일 첨단 반도체 관련 물품 수출에 경제산업상 허가가 필요한 물품을 확대하기 위해 관련 법률 하위 규정을 개정한다고 밝혔다. 일본의 수출 통제 대상 품목은 노광장비와 세정·검사 등 반도체 핵심 장비를 포함한 23개 품목이다.노광장비는 실리콘 웨이퍼 위 미세한 집적회로를 그리기 위한 장비다. 회로패턴이 그려진 포토마스크에 빛을 쬐, 웨이퍼 위 초소화된 패턴을 그리는 식
[디지털투데이 고성현 기자] 8인치 반도체 위탁생산(파운드리) 사업과 디스플레이구동칩(DDI) 설계(팹리스) 사업을 진행하고 있는 DB하이텍이 물적분할을 추진한다. 파운드리 사업 경쟁력 강화와 팹리스 사업 영역 확장을 이유로 내걸었다.DB하이텍은 7일 사업 분야 중 반도체 칩 설계를 담당하는 Brand사업본부를 물적 분할하기로 결정했다고 공시했다. 분할되는 신설회사는 가칭 'DB 팹리스'로, 분할기일은 5월 2일이다.DB하이텍은 물적 분할을 추진하는 것과 관련해 종합반도체기업(IDM) 특성상 파운드리 사업 시 고객과 이해관계 충돌이
[디지털투데이 고성현 기자] LG이노텍이 3분기 호실적을 기록했다. 스마트폰 신모델 출시로 카메라모듈 공급이 늘고 전장용 제품군 매출 확대가 실적을 견인했다.LG이노텍은 26일 3분기 연결기준 매출액 5조3874억원, 영업이익 4448억원을 기록한 실적을 발표했다. 매출은 전년 동기 대비 41.9%, 영업이익은 32.5% 증가했다. 전분기 대비로도 매출 45.5%, 영업이익 53.4%가 늘었다.LG이노텍 관계자는 "“고객사 신모델 양산에 본격 돌입하며 스마트폰용 고성능 카메라모듈 공급이 확대돼 실적을 이끌었다”며 “5G 통신용 반도
[디지털투데이 고성현 기자] 함석헌 제이아이테크 대표가 코스닥 상장을 시작으로 글로벌 반도체 소재 회사로 도약하겠다는 포부를 밝혔다.제이아이테크는 20일 여의도 루나미엘레에서 IPO 기자간담회를 열고 코스닥 상장 이후 계획을 발표했다. 제이아이테크는 2014년 설립한 반도체 소재 회사다. 공정 중 박막 증착의 전구체(Precursor)를 주력으로 제조하며 특수가스나 디스플레이용 재료 등도 생산하고 있다.제이아이테크는 최근 3년 동안 약 10%의 연평균 성장률과 약 20%대 영업이익률을 유지하고 있다. 지난해는 매출 205억원을 기록
[디지털투데이 고성현 기자] LG이노텍이 계절적 비수기와 경기침체 악재에도 비교적 선방한 실적을 기록했다.LG이노텍은 2분기 매출액 3조7026억원, 영업이익 2899억원의 실적을 거뒀다고 27일 밝혔다. 매출은 전년 동기 대비 57.2%, 영업이익은 90.8% 증가했다. 전분기 대비 매출은 6.3%, 영업이익은 21.0% 줄었다. 통상적 계절적 비수기와 경기 침체에 따른 전방산업 수요 감소라는 악재가 겹친 상황에서도 선방한 실적이다.LG이노텍은 스마트폰용 고성능 카메라모듈 판매 호조, 5세대(5G) 통신용 반도체 기판의 수요 및
[디지털투데이 고성현 기자] 정부가 반도체 산업 지원을 위해 기업들의 5년간 340조원 규모 투자를 뒷받침한다. 반도체 연구개발(R&D)과 설비투자 세제 혜택, 인력 양성 등이 핵심이다.이창양 산업통상자원부 장관은 21일 동진쎄미켐 발안공장에서 이같은 내용을 담은 ‘반도체 초강대국 달성전략’을 발표했다. 이날 발표한 전략은 윤석열 정부 출범 후 기획재정부, 과학기술통신부 등 관계 부처 합동으로 협의를 거쳐 마련했다.정부는 향후 5년간 340조원 규모를 투자하는 반도체 업계를 위한 인프라 구축과 세제 혜택 확대 등에 나선다. 우선 대
[디지털투데이 백연식 기자] 이종호 과학기술정보통신부 장관이 7일 국무회의에서 반도체에 대해 특별강연을 했다. 과기정통부는 이날 이 장관이 직접 나서 반도체 첨단기술의 중요성을 설명하면서 관련 기술에 대한 국무위원들의 이해와 협조를 구했다고 밝혔다.이 장관은 이날 ‘반도체 이해 및 전략적 가치’를 주제로 특강을 열고 반도체의 기본 정의와 시장 규모, 국내 기술 수준 등에 대해 설명했다.이 장관은 세계 최고 수준의 메모리 반도체와 달리 시스템 반도체 등은 기술 열위 상태이며, 반도체 산업계는 만성적인 인력난에 시달리고 있다고 말한 것
[디지털투데이 고성현 기자] 에스앤에스텍이 극자외선(EUV) 공정용 펠리클 양산을 위해 공장을 새로 짓는다.에스앤에스텍은 3일 EUV 펠리클 양산을 위해 신규 시설투자를 진행한다고 공시했다. 시설투자는 200억원 규모며, 투자기간은 올해 12월 31일까지다.에스앤에스텍이 투자하는 EUV용 펠리클은 포토마스크를 보호하는 얇은 필름이다. 반도체 공정 미세화로 수요가 늘고있는 EUV 노광장비와 함께 사용하는 필수 소재다. 현재 대만 TSMC와 삼성전자 등이 EUV용 펠리클을 적극 활용하고 있다.반도체 노광공정은 실리콘 웨이퍼에 전기적 신
[디지털투데이 양대규 기자] LG디스플레이는 산학 협력 차원에서 인큐베이션 과제 지원을 통해 연세대학교 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀에서 수행한 연구 결과가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 (Nature Communications) 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다. 이번 논문은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크를 이용해 기존의 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 관한 것이다. 해당 기술은 LCD 뿐만 아니라 OLED에도 적용 가능하다. 포토마스크는 반도체나 IC 회로
"일본의 수출규제가 계속되면 삼성전자 스마트폰 사업이 3~4개월 후 상당한 어려움을 겪을 수 있다"고동진 삼성전자 IM부문장 사장이 7일(현지시간) 미국에서 열린 갤럭시노트10 언팩 행사 기자간담회에서 이같이 밝혔다. 일본의 수출 규제가 지속되면 올해 안에 스마트폰 생산에 위기로 불릴 수 있는 상황이 올 것이라는 예상이다. 이에 삼성전자에서 생산을 시작한 갤럭시노트10과 하반기 출시 예정인 제품 등의 생산에 일부 차질이 예상된다.하지만 8일 한 달 만에 일본의 주요 규제 품목 중 하나인 포토레지스트에 대해 일본 정부가 수출을 허가했
일본의 반도체 소재 수출 제재가 장기화되면서, 삼성전자 파운드리 사업의 로드맵이 흔들릴 수 있다는 우려가 나오고 있다. 삼성전자가 경쟁력을 지닌, 7나노(nm) 이하의 EUV(극자외선) 파운드리 공정에 일본산 포토레지스트(감광액)가 필수적으로 들어가기 때문이다. 포토레지스트는 에칭가스(불화수소), 플루오린 폴리미드와 함께 지난 4일부터 일본의 수출 규제 품목 3가지 중 하나다.17일 업계에 따르면, 삼성전자 EUV 공정 라인에는 193㎚ 미만의 포토레지스트가 필수적인데, 해당 소재는 일본의 JSR과 신예츠가 거의 독점 공급하는 소재
LG이노텍이 디스플레이 제조 공정상 필수 부품인 포토마스크 10세대급 라인 투자를 검토 중이다. LG디스플레이가 오는 2019년 가동 예정인 경기도 파주 P10 라인에 포토마스크를 공급하기 위해서다.LG이노텍으로서는 부담스런 자금이 소요될 전망이지만, LG디스플레이가 외부에서 포토마스크를 수급하는 것도 불가능해서 그룹 차원의 결단이 내려질 것으로 보인다.
[디지털투데이 오은지 기자] KLA-텐코(지사장 정용식)는 레티클 블랭크 검사 장비 'FlashScan' 제품군을 첫 출시했다고 17일 밝혔다. 레티클은 반도체 회로를 그리기 위해 포토(노광) 공정에서 쓰는 부품으로, 여러번 반복적으로 위치를 바꿀 수 있는 포토마스크를 일컫는다. 레티클 블랭크는 레티클을 제작하는 데 필요한 기본 틀로, 복합 소재로 이뤄진 기판이다. FlashScan 장비는 블랭크 제조 업체에서 결함을 찾아내거나 레티클 제조 업체(마스크숍)에서 검사, 툴 모니터링, 공정제어를 하는
[디지털투데이 안석현 기자] LG이노텍이 디스플레이 제조 공정상 필수 부품인 포토마스크 10세대급 라인 투자를 검토 중이다. LG디스플레이가 오는 2019년 가동 예정인 경기도 파주 P10 라인에 포토마스크를 공급하기 위해서다.LG이노텍으로서는 부담스런 자금이 소요될 전망이지만, LG디스플레이가 외부에서 포토마스크를 수급하는 것도 불가능해서 그룹 차원의 결단이 내려질 것으로 보인다. 23일 업계에 따르면 LG이노텍은 LG디스플레이의 파주 P10 공장 가동(2019년 상반기)에 맞춰 10세대급 포토마스크 생산라인